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離子滲氮爐是將被處理的工件放置在真空容器中，在放電條件下進行滲氮。離子滲氯可以使滲氮的周期縮短60%-70%，簡化工序，零件變形小，產品質量好，節約能源，減少**，是近年來發展較快的熱處理工藝。這種新工藝正在不斷擴大著適用材料品種和應用領域，成功地處理了球鐵、合金鑄鐵、馬氏體鋼、奧氏體鋼和彌散強化不銹鋼。